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感光树脂
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2021-03-17 14:35:49
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1:由激光器å‘生的å•æŸåŽŸå§‹æ¿€å…‰ï¼Œç»å¤šè·¯å…‰å­¦çº¤ç»´æˆ–å¤æ‚的高速旋转光学裂æŸä½“系分裂æˆå¤šæŸï¼ˆé€šå¸¸æ˜¯200-500æŸï¼‰æžç»†çš„激光æŸæ¯æŸå…‰åˆ†åˆ«ç»å£°å…‰è°ƒåˆ¶å™¨æŒ‰è®¡ç®—机中图画信æ¯çš„亮暗等特å¾ï¼Œå¯¹æ¿€å…‰æŸçš„亮暗改å˜åŠ ä»¥è°ƒåˆ¶åŽï¼Œå˜æˆå—控光æŸã€‚

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2:å†ç»èšç„¦åŽï¼Œå‡ ç™¾æŸå¾®æ¿€å…‰ç›´æŽ¥å°„到å°ç‰ˆè¡¨é¢è¿›è¡Œåˆ»ç‰ˆä½œä¸šï¼Œé€šè¿‡æ‰«æ刻版åŽï¼ŒåŽ»é»ç²‰å…¬å¸åœ¨å°ç‰ˆä¸Šå½¢æˆå›¾ç”»çš„潜影。ç»æ˜¾å½±åŽï¼Œè®¡ç®—机å±å¹•ä¸Šçš„图画信æ¯å°±è¿˜åŽŸåœ¨å°ç‰ˆä¸Šä¾›èƒ¶å°æœºç›´æŽ¥å°åˆ·ã€‚æ¯æŸå¾®æ¿€å…‰æŸçš„直径åŠå…‰æŸçš„光强散布形状,决议了在å°ç‰ˆä¸Šå½¢æˆå›¾ç”»çš„潜影的清晰度åŠåˆ†è¾¨çŽ‡ã€‚

3:微光æŸçš„光斑愈å°ï¼Œå…‰æŸçš„光强散布愈接近矩形(抱负情况),则潜åƒçš„清晰度愈高。扫æ精度则å–决体系的机械åŠç”µå­æŽ§åˆ¶éƒ¨åˆ†ã€‚

4:而激光微æŸçš„数目则决议了扫æ时刻的长短。微光æŸæ•°ç›®è¶Šå¤šï¼Œåˆ™åˆ»èš€ä¸€ä¸ªå°ç‰ˆçš„时刻就越短。现在,光æŸçš„直径已å‘展到4.6个微米,相当于å¯åˆ»èš€å‡º600lpiçš„å°åˆ·ç²¾åº¦ã€‚å…‰æŸæ•°ç›®å¯è¾¾500根。该蚀一个对开å°ç‰ˆçš„时刻å¯åœ¨3分钟å³å®Œæˆã€‚

5:å¦ä¸€æ–¹é¢ï¼Œç‰ˆå…‰æŸçš„输出功率åŠèƒ½é‡å¯†åº¦ï¼ˆå•ä½é¢ç§¯ä¸Šå‘生的激光能é‡,å•ä½ä¸ºç„¦è€³/平方厘米)愈高,则蚀刻速度也愈快。å¯æ˜¯è¿‡é«˜åŠŸçŽ‡ä¹Ÿä¼šå‘生缩短激光的作业寿数,é™ä½Žå…‰æŸçš„散布质é‡ç­‰çš„è´Ÿé¢çš„å½±å“。

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